拋光級黑碳化矽呈黑色,性脆而鋒利,並具有較好的導熱性和導電性。微觀形狀(zhuang)呈六方晶體,碳化矽的莫氏(shi)硬度為9.2,威(wei)氏(shi)顯微密硬度為3000--3300kg/mm2,努普硬度為2670--2815kg/mm,顯微硬度3300kg/mm3。在磨料中高於剛玉而僅次於金剛石、立方氮化硼和碳化硼。
拋光級黑碳化矽的拋光方法:
1、超聲波拋光:將工件放入黑碳化矽懸浮(fu)液中並一起(qi)置於超聲波場(chang)中,依靠超聲波的振(zhen)蕩作用,使得它在工件表麵磨削(xiao)拋光。超聲波加工宏(hong)觀力小,不(bu)會(hui)引起(qi)工件變(bian)形,但工裝製作和安(an)裝較困難。超聲波加工可(ke)以與化學或電化學方法結(jie)合。在溶液腐蝕、電解的基礎(chu)上,再(zai)施(shi)加超聲波振(zhen)動攪拌溶液,使工件表麵溶解產物(wu)脫離(li),表麵附近的腐蝕或電解質均勻(yun);超聲波在液體中的空化作用還能(nen)夠抑製腐蝕過程,利於表麵光亮(liang)化。
2、電解拋光:電解拋光基本(ben)原(yuan)理與化學拋光相同(tong),即靠選擇(ze)性的溶解材料表麵微小凸出部分,使表麵光滑。與化學拋光相比,可(ke)以消除陰(yin)極反應的影響(xiang),效果較好。電化學拋光過程分宏(hong)觀整平,微觀整平。
3、流體拋光:流體拋光是依靠高速流動的液體及其(qi)攜(xie)帶的磨粒(li)衝刷工件表麵達(da)到拋光的目(mu)的。常用方法有:金剛砂噴射加工、液體噴射加工、流體動力研磨等。流體動力研磨是由液壓驅動,使攜(xie)帶磨粒(li)的液體介質通過噴砂槍高速往複流過工件表麵。介質主要采用在較低壓力下流過性好的特殊化合物(wu)並摻上黑碳化矽製成,可(ke)采用它的碳化矽粉末。
4、化學拋光:化學拋光是讓材料在化學介質中表麵微觀凸出的部分較凹(ao)部分優(you)先溶解,從而得到平滑麵。這(zhe)種方法的主要優(you)點是不(bu)需(xu)複雜設備,可(ke)以拋光形狀(zhuang)複雜的工件,可(ke)以同(tong)時拋光很多工件,效率高。化學拋光的核(he)心問題是拋光液的配(pei)製。
5、機械拋光:機械拋光是靠切(qie)削(xiao)材料表麵塑性變(bian)形去掉(diao)被拋光後的凸部而得到平滑麵的拋光方法,一般(ban)使用油(you)石條、羊毛輪、砂紙,砂帶,尼龍輪等,磨光片以手工操作為主,特殊零(ling)件如回轉體表麵,可(ke)使用轉台等輔助工具,表麵質量要求(qiu)高的可(ke)采用超精研拋的方法。
6、磁研磨拋光:磁研磨拋光是利用磁性黑碳化矽在磁場(chang)作用下形成黑碳化矽刷,磨光片對(dui)工件磨削(xiao)加工。這(zhe)種方法加工效率高,質量好,加工條件容易控製,工作條件好。采用合適的,表麵粗(cu)糙度可(ke)以達(da)到。